新技術

製品開発事例のご紹介

洗浄装置開発
電子産業・光学・医療など、精密洗浄・剥離・エッチングを必要とするお客様のニーズに迅速に対応致します。
洗浄装置
気液混合技術
ガスの溶解技術と、24時間365日稼働する安定性を用いて、お客様の気体と液体に関する悩みを解決いたします。
気液混合技術
工場設備開発
設計から生産、検査、設置まで、一貫した技術と体制を持った当社が、お客様の設計・生産・工事部門となって設備開発に取り組みます。
工場設備開発

洗浄装置開発

当社では水処理機器製造に於ける豊富な経験と実績、傑出したアイデアを活用し洗浄装置の開発を行なっております。「洗浄装置」と言っても各お客様の用途により、多種多様な装置が存在します。被洗浄物の種類や材質、ならびに要求される洗浄精度などを考慮し、お客様の用途にあったものをご提案させて頂きます。

製作実績

1. 各種超音波洗浄装置:単体~15槽式(手動・自動)
    搬送方式:バッチ式(専用治具・ケース)・枚葉式

品名 被洗浄物 使用液 処理方法 超音波 乾燥方式
レンズ関係 カメラレンズ
メガネレンズ
CCDカメラレンズ
洗剤・市水・純水・有機溶剤・薬液(酸・アルカリ) 還流方式・噴流方式
温純水洗浄・DIP
26~40KHz
(揺動)
温純水引上げ
IR乾燥・温風乾燥
IPA/VP
液晶関係 液晶ガラス
STNガラス
サブガラス
洗剤・市水・純水 ロールブラシ・ディスクブラシ・シャワー・UV処理 750~950KHz
(流水式)
エアーナイフ
機械工具 エンドミル・チップ
ハイス・ドリル等
各種洗剤・市水・純水 シャワー・油水分離
温純水洗浄・DIP
26~100KHz
(揺動)
エアーブロー
温風乾燥
医療器具 オペ器具・カテーテル 洗剤・市水・純水・機能水 シャワー・高圧洗浄
温純水洗浄・DIP
26~40KHz
(揺動)
エアーブロー
温風乾燥
各種セル 携帯電話用セル
基盤
洗剤・市水・純水・有機溶剤 温純水洗浄・DIP 26~40KHz
(揺動)
エアーブロー
温風乾燥・吸引乾燥
真空乾燥・IPA/VP
その他 専用カセット・治具・ベアリング(球・内/外輪)・シャドーマスク・液晶用ガラス 洗剤・市水・純水・炭化水素系洗剤 シャワー・叩き揺動ジェット洗浄・DIP 26~40KHz
(揺動)
エアーブロー
温風乾燥・吸引乾燥
真空乾燥・スピン乾燥
IPA/VP

2. 剥離装置(Lift-off・ストリップドラフト)

品名 被洗浄物 使用液 処理方法 超音波 乾燥方式
HDD ウェーハ 純水・NMP・IPA・その他有機溶剤 DIP・QDR・高圧JET・SPIN 26~950KHz
(揺動)
IPA/VP・SPIN
サーマルヘッド プリンターヘッド 純水・NMP・IPA DIP 26~40KHz
(揺動)
IPA/VP

3. スクラブ洗浄装置・ブラシ洗浄装置
  搬送方式:ロボット搬送

品名 被洗浄物 使用液 処理方法 超音波 乾燥方式
液晶 ガラス 洗剤・純水・CDR ロールブラシ・ディスクブラシ 1MHz UV・UF・エアーナイフ
HDD ウェーハ 洗剤・有機溶剤・純水・CDR・N2 スクラブブラシ・DIP 26~950KHz SPI・IPA/VP

4. エッチング装置
  搬送方式:バッチ式(専用治具・ケース)

品名 被洗浄物 使用液 処理方法 超音波 乾燥方式
HDD ウェーハ 水酸化ナトリウム・アンモニア・CDR・N2 噴流・バブリング・シャワー 40~70KHz
(揺動)
温風乾燥・吸引乾燥
太陽電池 ウェーハ
(シリコン・アモルファス)
水酸化ナトリウム・珪酸ナトリウム・N2・過酸化水素・フッ酸 噴流・バブリング・シャワー 40~70KHz
(揺動)
温風乾燥・吸引乾燥
CCD レンズ 混酸・純水等 バブリング・置換 - -
カメラボディ Mg ボディ 化成処理剤・純水・フッ酸 噴流・バブリング・シャワー 26~40KHz
(揺動)
エアーブロー
温風乾燥・オーブン

製品例

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